대만 강진에 TSMC 피해 예상보다 심각…한국 엔지니어도 파견

대만 강진 발생 사흘째인 5일 타이베이 화롄현의 붕괴직전까지 기울어진 톈왕싱 빌딩 유리창 철거 작업이 진행되고 있다. 2024.4.5 [사진 = 연합뉴스]

지난 3일 대만에서 발생한 규모 7.3의 강진에 세계최대 파운드리 업체 TSMC가 받은 피해규모가 당초 예상보다 심각한 것으로 알려졌다.

네덜란드 반도체 장비기업 ASML의 한국 법인 소속 엔지니어들까지 복구 지원을 위해 대만에 파견되고 있는 것으로 전해졌다.

5일 업계에 따르면 TSMC는 이번 지진으로 팹(공장)이 일시 중단되고 생산중이던 일부 웨이퍼 손상까지 발생하면서 840억 원이 넘는 피해를 입은 것으로 추산된다.

특히 TSMC 공장 내 EUV(극자외선)·DUV(심자외선) 노광장비도 일부 손상되면서 유지·보수를 위해 한국 ASML 소속 엔지니어들이 속속 대만에 투입되고 있다.

이들은 한국에 있는 EUV 부품도 대거 공수해 갈 예정이며, 네덜란드 본사 엔지니어들도 곧 지원에 나설 것으로 알려졌다.

반도체 업계 관계자는 “엔지니어들 파견 규모로 미루어 TSMC 피해 규모가 알려진 것보다 클 수 있다.

지원이 내달까지 이어져야 할 것으로 보인다”고 말했다.

앞서 TSMC는 지진 발생 10시간 만에 웨이퍼 팹 장비 복구율이 70% 수준이며, 타이난에 있는 최신 공장 ‘팹18’의 복구율도 80% 라고 밝힌 바 있다.

또 일부 설비와 장비 파손은 있으나 EUV 장비에 피해는 없다는 입장을 고수해왔다.

하지만 업계에서는 EUV가 상당히 예민한 장비인 데다 포토 마스크를 보호하기 위한 주요 부품이 충격에 매우 취약하다는 점을 감안할 때 일부 피해가 있었을 것으로 보고 있다.

관련 부품들까지 한국에서 옮겨가고 있다는 점도 이런 관측에 무게를 싣는다.

실제로 TSMC는 이날 “복구 작업에 속도를 내고 있지만 일부 라인의 자동화 생산 재개에 더 많은 시간이 필요할 것으로 보인다”고 밝혔다.