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[THE CEO] 제우스, 반도체 장비 넘어 로봇으로
기사입력 2021-02-24 10:30
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[THE CEO] 제우스, 반도체 장비 넘어 로봇으로

Q. 제우스, 주요 사업 내용은?

A. 제우스, 1970년에 설립되어 51년째 사업 운영 중
A. 반도체 공정용 장비·디스플레이 열처리 장비·로봇 등


Q. 반도체 세정 장비인 ‘아폴론’, 특징은?

A. 웨이퍼 표면을 습식으로 처리하는 장치
A. 반도체의 수율향상과 품질향상을 위해 반드시 필요
A. 싱글 방식, 웨이퍼를 한 장씩 돌리면서 처리하는 방식
A. batch 방식, 20~50장을 케미컬 수조에 담가 처리
A. 두 방식 장비 모두 만드는 회사 일본에 두 곳 뿐
A. 제우스가 그 중 한 회사 지분 100% 소유
A. 올해부터는 batch 장비도 한국에서 생산
A. 정밀한 온도제어를 통해 온도 더 올릴 수 있는 기술 사용
A. 약액 소모량 30% 이하로 감소 및 공정 시간 단축


Q. 디스플레이 제조 장비인 HPCP, 시장 1위 비결은?

A. 디스플레이 패널 생산, 열장비로 처리하는 공정 많아
A. 대형 OLED TV Oxide TFT 공정에 필요한 고온 열풍 장비 제공
A. PI코팅 후에 코팅막 건조시키는 Pre-bake 장비 보유
A. 공장자동화 시스템인 ‘인라인 시스템’


Q. 반도체/디스플레이 장비 사업 주 고객사는?

A. 국내, 삼성전자·SK하이닉스·삼성디스플레이·LG디스플레이 등
A. 해외, SMIC·CXMT·YMTC·BOE·CSOT·HKC 등


Q. 다관절 로봇 ‘제로’, 특징은?

A. 경량 로봇으로 라인 재설계 용이
A. 일반 가정용 전원으로도 동작 가능
A. 누구나 PC에서 동작시킬 수 있는 호환성
A. 간편한 인터페이스 통해 사용 편리성 제공


Q. 추후 제우스 로봇 사업 전망은?

A. 모터·관절모듈·콘트롤러 등 주요 부품 100% 국산화
A. 20년 넘게 반도체/디스플레이 로봇 취급 경험
A. 4차산업 시대, 스마트 팩토리 구축 중요한 화두
A. 늘어나는 로봇 수요, 국산 로봇 시장 넓혀갈 것


이종우 제우스 대표 by 매일경제TV

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