TSMC 강진 피해규모 심각 韓서 수리용 부품 공수한다

지난 3일 대만에서 발생한 규모 7.3의 강진에 세계 최대 파운드리 업체 TSMC가 받은 피해 규모가 당초 예상보다 심각한 것으로 알려졌다.

네덜란드 반도체 장비 기업 ASML의 한국 법인 소속 엔지니어들까지 복구 지원을 위해 대만에 파견되고 있는 것으로 전해졌다.

5일 업계에 따르면 TSMC는 이번 지진으로 팹(공장)이 일시 중단되고 생산 중이던 일부 웨이퍼 손상까지 발생하면서 840억원이 넘는 피해를 본 것으로 추산된다.

특히 TSMC 공장 내 EUV(극자외선)·DUV(심자외선) 노광장비도 일부 손상되면서 유지·보수를 위해 한국 ASML 소속 엔지니어들이 속속 대만에 투입되고 있다.

이들은 한국에 있는 EUV 부품을 대거 공수해 갈 예정이며, 네덜란드 본사 엔지니어들도 곧 지원에 나설 것으로 알려졌다.

반도체 업계 관계자는 "엔지니어들 파견 규모로 미루어 볼 때 TSMC의 피해 규모가 알려진 것보다 클 수 있다.

지원이 다음달까지 이어져야 할 것으로 보인다"고 말했다.

실제로 TSMC는 이날 "복구 작업에 속도를 내고 있지만 일부 라인의 자동화 생산 재개에 더 많은 시간이 필요할 것으로 보인다"고 밝혔다.

[신윤재 기자]