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日불화수소 수입 年1천억 안돼…개발보다 구매가 더 `효율`
기사입력 2019-07-21 22:06
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◆ 한일 정면충돌 ◆
최근 일부에서 제기된 "국내 중소기업도 불화수소를 만들 수 있는데 대기업이 안 사준다"거나 "삼성전자 SK하이닉스 등이 그동안 국내 중소기업의 소재 개발 지원에 소홀했던 것 아니냐"는 주장에 대해 학계와 전문가들은 "국산 불화수소의 저조한 자립도를 대기업 탓으로 돌리기에는 무리가 있다"는 반응이 주를 이루고 있다.


불화수소는 반도체 핵심 소재인 웨이퍼(원판)에 회로를 새기거나 세척하는 데 활용된다.

웨이퍼에 회로 모양을 앉힌 후 이 모양에 맞춰 깎아내며 회로를 형성하는 과정을 에치(etch)라고 하는데 여기에 쓰이는 에칭가스가 불화수소다.


반도체 공정 특성상 이 과정에서 이물질만 있어도 잔여물이 회로에 남게 돼 불량품이 생성될 수 있다.

제작이 까다롭고 가격이 비싸지만 순도가 최대한 높은 99.999%의 불화수소를 사용해야 하는 이유다.


한국무역협회에 따르면 올해 1~5월 불화수소의 대일 수입 의존도는 43.9%였지만 고순도 불화수소로 한정하면 일본 업체에 전적으로 의존하고 있다.

한국의 불화수소 최대 수입국은 중국이지만 에칭가스로 사용되는 초고순도 제품은 일본 기업의 비중이 압도적으로 높다.


신소재 분야 한 전문가는 "고순도 불화수소는 국내에서도 개발하려는 시도가 있었으나 양산기술의 한계에 부딪혀 국산화에 실패한 것"이라며 "일본 제품 의존도가 높은 것은 국내 대기업뿐만 아니라 해외 주요 반도체 제조업체도 마찬가지 상황이라 국내 기업들의 소재 국산화 노력 부족으로 보기는 어렵다"고 말했다.


일본산 불화수소의 연간 수입액이 1000억원도 안 돼 불화수소를 직접 개발하는 것보다 구매하는 것이 효율적이라는 판단도 있었을 것이라는 게 업계 전언이다.

최근 삼성전자가 고순도 불화수소 등 일본산을 대체할 소재를 찾기 위해 테스팅을 진행하고 있지만 실제 이를 라인에 적용하는 것은 다른 차원의 문제다.

고순도 불화수소는 품질 테스트에만 2~3개월이 소요된다.


업계 관계자는 "글로벌 수준의 소재·부품업체 육성은 몇 개 기업이 할 수 있는 일이 아니라 규제를 완화하고 기초과학 연구인력을 양성하는 등 국가적 차원의 체계적인 지원이 있어야 가능하다"고 강조했다.


최근 반도체산업구조선진화연구회는 환경규제 강화가 고순도 불화수소 국산화를 막고 일본 의존도를 높이게 된 직접적인 원인이라는 분석을 내놓기도 했다.

전문가들은 핵심 소재 국산화를 위해서는 과도한 규제를 완화하고 국가적 차원에서 체계적 지원 프로그램을 마련해야 한다고 입을 모은다.


[전경운 기자 / 황순민 기자]
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#SK하이닉스 #삼성전자

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